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周静涛
作品数:
68
被引量:36
H指数:4
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
杨成樾
中国科学院微电子研究所
申华军
中国科学院微电子研究所
刘新宇
中国科学院微电子研究所
刘焕明
中国科学院微电子研究所
金智
中国科学院微电子研究所
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杨成樾
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 肖特基二极管 微波等离子体 肖特基接触
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申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 刻蚀 欧姆接触 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 外延层
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刘焕明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SUB 硅基 钝化层 离子注入工艺 肖特基二极管
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金智
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:石墨烯 金属 场效应晶体管 光刻胶 电极
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李博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SRAM 二次谐波 绝缘体上硅 埋氧层 背栅
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白云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 肖特基二极管 外延层
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汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
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吴德馨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN HEMT INGAP/GAAS_HBT 欧姆接触 HBT
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张慧慧
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅基 光子晶体 线缺陷 三角晶格 成品率
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