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星期五
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库黎明
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26
被引量:35
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供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国际科技合作与交流专项项目
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
周旗钢
北京有色金属研究总院
闫志瑞
北京有色金属研究总院
索思卓
北京有色金属研究总院
黄军辉
北京有色金属研究总院
常青
北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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索思卓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品
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黄军辉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
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肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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所获资助
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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葛钟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
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陈海滨
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
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盛方毓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
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