2025年1月21日
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潘丽
作品数:
63
被引量:31
H指数:4
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程
国防科技技术预先研究基金
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
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理学
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合作作者
杜春雷
中国科学院光电技术研究所
邱传凯
中国科学院光电技术研究所
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
刘尧
中国科学院光电技术研究所
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杜春雷
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模
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相关人物
供职机构
所获资助
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邱传凯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:变形镜 微透镜列阵 掩模 微透镜阵列 光学系统
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所获资助
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
发表作品
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供职机构
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刘尧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 湿法腐蚀 线宽 干法刻蚀
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刘玲
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
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所获资助
研究领域
邢卉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 干法刻蚀 膜层 线宽
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所获资助
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刘凯鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 光刻 超分辨 膜层 湿法腐蚀
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相关人物
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邓启凌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:微透镜列阵 微透镜阵列 微细加工 衍射光学元件 医疗美容
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所获资助
研究领域
冯沁
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
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