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王子千

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秦健
供职机构：清华大学
研究主题：生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽文
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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