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罗凯升
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浙江大学
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史峥
浙江大学电气工程学院超大规模集...
齐晶
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吕楠
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史峥
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:光学邻近校正 集成电路 版图 光刻 成品率
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林斌
供职机构:浙江大学
研究主题:永磁同步电机 绕组电机 投影仪 结构光 光学邻近校正
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严晓浪
供职机构:浙江大学电气工程学院
研究主题:集成电路 VLSI 低功耗 版图 光学邻近校正
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齐晶
供职机构:浙江大学
研究主题:光学邻近校正 成品率 参数初始化 集成电路 矢量化
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耿臻
供职机构:浙江大学
研究主题:分辨率增强 光刻 纳米级集成电路 鲁棒性 传感器
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吕楠
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:传感器 光学邻近效应 光刻系统 光刻仿真 多边形
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齐晶
供职机构:浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题:分辨率 光学邻近校正 光刻 可制造性设计 图形法
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林斌
供职机构:浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
研究主题:位置敏感探测器 像素电路 硅基液晶 晶体管 PSD
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