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刘尧

作品数：28 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 14个电子电信
  • 14个理学
  • 12个机械工程
  • 12个一般工业技术
  • 11个自动化与计算...
  • 10个文化科学
  • 4个轻工技术与工...
  • 3个电气工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个航空宇航科学...

主题

  • 15个光刻
  • 14个等离子体
  • 14个刻蚀
  • 13个掩模
  • 13个衍射
  • 12个纳米光刻
  • 12个纳米光刻技术
  • 11个银膜
  • 11个特征尺寸
  • 11个透镜
  • 11个膜层
  • 10个衍射极限
  • 10个湿法腐蚀
  • 9个亚波长
  • 9个掩膜
  • 9个阵列
  • 9个溶胶
  • 7个低能
  • 7个低能电子
  • 7个电子束

机构

  • 15个中国科学院
  • 1个吉林大学
  • 1个中国科学院研...
  • 1个《光电工程》...

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 7个国家重点基础...
  • 4个国家重点实验...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个“九五”国家...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个中科院创新基...
  • 2个四川省科技支...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个四川省青年科...
  • 1个“八五”国家...
  • 1个安徽省高校省...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个教育部重点实...
  • 1个中国科学院西...

传媒

  • 9个光电工程
  • 6个激光与光电子...
  • 6个光子学报
  • 5个光电子．激光
  • 5个物理学报
  • 4个中国激光
  • 4个微纳电子技术
  • 4个第五届全国光...
  • 3个科学通报
  • 3个光学学报
  • 3个强激光与粒子...
  • 3个微细加工技术
  • 3个第十二届全国...
  • 3个第十一届全国...
  • 2个红外与激光工...
  • 2个光学精密工程
  • 2个机械工程学报
  • 2个物理
  • 2个电子工业专用...
  • 2个LSI制造与...

地区

  • 15个四川省
共 15 条 记 录，以下是 1-10
罗先刚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王长涛
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢卉
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 湿法腐蚀 干法刻蚀 膜层 线宽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玲
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 超分辨 光刻 湿法腐蚀 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘丽
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘凯鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：掩模 光刻 超分辨 膜层 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 掩模 棱镜 微开关 光程差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯沁
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵泽宇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨欢
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束整形 衍射 局域 金属纳米 微透镜阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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