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王玉光
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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陈大鹏
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
董立军
中国科学院微电子研究所
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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董立军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 氮化硅薄膜 红外焦平面阵列 纳米孔 MEMS
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