2025年3月6日
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闫志瑞
作品数:
19
被引量:91
H指数:5
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周旗钢
北京有色金属研究总院
库黎明
北京有色金属研究总院
冯泉林
北京有色金属研究总院
王继
北京有色金属研究总院
索思卓
北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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供职机构
所获资助
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
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常青
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
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索思卓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
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王继
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌
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肖清华
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
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李耀东
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:闭环 硅片表面 管式 平整度 抛光
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所获资助
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林霖
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光
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所获资助
研究领域
刘大力
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
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