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王建峰

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>
相关领域：文化科学医药卫生电子电信机械工程更多>>

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪海
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丽辉
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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