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刘泽文
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清华大学
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合作作者
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
雷啸锋
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陈忠民
清华大学信息科学技术学院微电子...
李孟委
清华大学信息科学技术学院微电子...
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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雷啸锋
供职机构:清华大学
研究主题:开关 微机械开关 微机械 牺牲层 共面波导
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陈忠民
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:氧化多孔硅 射频 多孔硅 电感 射频电路
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李孟委
供职机构:中北大学
研究主题:石墨烯 光栅 微陀螺 电极 基板
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丁勇
供职机构:宁波大学
研究主题:桥梁伸缩缝 桥梁工程 电感 桥面 锚具
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张玉龙
供职机构:清华大学
研究主题:寄生效应 测试装置 MEMS器件 划片 可调电感
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秦健
供职机构:清华大学
研究主题:生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底
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方杰
供职机构:清华大学
研究主题:可变电容 微机械 电容值 射频 MEMS
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尹明
供职机构:清华大学
研究主题:浮栅 封装 焊球 微加工 射频微机电系统
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