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陈滢
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26
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H指数:1
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
上海市浦江人才计划项目
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自动化与计算机技术
一般工业技术
电子电信
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合作作者
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
许鹏程
中国科学院上海微系统与信息技术...
于海涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨永亮
中国科学院上海微系统与信息技术...
包宇洋
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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许鹏程
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
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于海涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
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研究领域
包宇洋
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 液相检测 亚微米级 悬臂梁 环境信息
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刘民
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
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李俊纲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:敏感膜 镍 高阶 悬臂梁 扩展性
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杨永亮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:压阻 各向异性腐蚀 斥力 SUB 非接触式
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陈传钊
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 加热元件 基底表面 绝缘层 多功能化
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韦学勇
供职机构:西安交通大学
研究主题:声表面波 微尺度 敏感元件 微流控 表面声波
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李明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 观测孔 激光直写 TEM 高熵合金
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