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陆荣

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
  • 2个化学工程
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  • 2个一般工业技术
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  • 1个医药卫生

主题

  • 4个电池
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  • 3个电容式
  • 3个电容式传感器
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  • 3个电学
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  • 3个压阻
  • 3个掩模
  • 3个氧化层
  • 3个音叉
  • 3个原电池
  • 2个倒装芯片
  • 2个电容加速度计
  • 2个多晶硅电阻

机构

  • 4个中国科学院
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  • 1个上海交通大学
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  • 1个中科院上海微...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家自然科学...
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传媒

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  • 1个机械工程学报

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆松涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 悬架 光刻胶 光刻 互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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