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周毅

作品数：53 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 21个机械工程
  • 21个电子电信
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  • 19个理学
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  • 2个金属学及工艺
  • 2个核科学技术
  • 2个自然科学总论
  • 1个化学工程
  • 1个建筑科学
  • 1个交通运输工程

主题

  • 22个掩模
  • 22个光刻
  • 22个光学
  • 21个工件台
  • 20个图像
  • 19个掩模板
  • 17个条纹
  • 17个透镜
  • 16个衍射
  • 15个投影光刻
  • 15个投影光刻机
  • 13个电机
  • 10个调制度
  • 10个叠栅条纹
  • 9个大行程
  • 9个调焦
  • 8个蛋白
  • 8个蛋白芯片
  • 7个电机驱动
  • 7个电机驱动器

机构

  • 23个中国科学院
  • 8个中国科学院大...
  • 5个中国科学院研...
  • 1个电子科技大学
  • 1个许昌职业技术...

资助

  • 20个国家自然科学...
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  • 7个四川省科技支...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个成都市科技攻...
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  • 3个中国科学院知...
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传媒

  • 15个光学学报
  • 14个光电工程
  • 11个中国激光
  • 10个激光与光电子...
  • 7个微纳电子技术
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  • 5个光子学报
  • 5个四川大学学报...
  • 5个电子工业专用...
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  • 3个电子技术应用
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  • 3个半导体光电
  • 3个第十二届全国...
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  • 3个2010(第...

地区

  • 22个四川省
  • 1个河南省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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邓钦元
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓茜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 光场分布 自成像 干涉图 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李凡星
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 传感器 成像 光栅尺 工件台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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