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吕耀

作品数：2 被引量：5H指数：1
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宋青林
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：压力传感器 热导率 尺寸效应 SI 热物性
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夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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陈绍凤
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
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