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张凯
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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合作作者
陈堂胜
中国电子科技集团公司第五十五研...
周建军
中国电子科技集团公司第五十五研...
孔岑
中国电子科技集团公司第五十五研...
孔月婵
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴少兵
中国电子科技集团公司第五十五研...
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陈堂胜
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:高电子迁移率晶体管 氮化镓 砷化镓 GAN ALGAN/GAN_HEMT
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周建军
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:GAN_HEMT器件 势垒层 金属 金刚石 刻蚀
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孔岑
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:GAN_HEMT器件 势垒层 金属 刻蚀 欧姆接触
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孔月婵
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:金刚石 衬底 二维电子气 高电子迁移率晶体管 氮化镓晶体管
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吴少兵
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:金属 空气桥 微波毫米波 挖槽 阳极
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郁鑫鑫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:金刚石 欧姆接触 GAN_HEMT器件 刻蚀 金属
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牛斌
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:肖特基二极管 空气桥 金属 磷化铟 波导
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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廖蕾
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:绝缘栅 绝缘介质 金属 界面态 淀积
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潘斌
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:衬底 超声清洗 超大功率 操作工艺 参照系
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