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魏涛
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
魏劲松
中国科学院上海光学精密机械研究...
张奎
中国科学院上海光学精密机械研究...
王阳
中国科学院上海光学精密机械研究...
耿永友
中国科学院上海光学精密机械研究...
吴谊群
中国科学院上海光学精密机械研究...
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魏劲松
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:超分辨 激光直写 光刻 数值孔径 测量方法
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王阳
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩膜 锑 光刻 超分辨 记录层
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张奎
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光直写 超分辨 激光 显影液 SB
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吴谊群
供职机构:黑龙江大学
研究主题:酞菁 金属酞菁 氧 萘酞菁 旋涂膜
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耿永友
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:刻蚀 蓝光 光存储 激光直写 旋涂
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