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卢立延

作品数：3 被引量：9H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
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合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 2个金属学及工艺
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  • 1个动力工程及工...
  • 1个一般工业技术

主题

  • 4个单晶
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传媒

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地区

  • 4个北京市
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孙燕
供职机构：有色金属研究总院
研究主题：硅抛光片 硅片 光刻材料 光刻 加工参数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁进军
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常麟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：直拉硅单晶 氧浓度 数值模拟 有限元分析 SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴小林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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