2025年1月11日
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司卫华
作品数:
23
被引量:15
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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金属学及工艺
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合作作者
董晓文
中国科学院研究生院
顾文琪
中国科学院研究生院
刘泽文
清华大学
尹明
清华大学
秦健
湖南大学物理与微电子科学学院
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董晓文
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 压印
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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供职机构
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尹明
供职机构:清华大学
研究主题:浮栅 封装 焊球 微加工 射频微机电系统
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秦健
供职机构:清华大学
研究主题:生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底
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国石磊
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 传统加工方法 封装 纳米加工技术 芯片
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相关人物
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田昊
供职机构:大连理工大学
研究主题:微加热器 观赏性 可折叠 支撑体 展台
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所获资助
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