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司卫华

作品数:23 被引量:15H指数:2
供职机构:清华大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>

领域

  • 6个电子电信
  • 5个一般工业技术
  • 4个机械工程
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个理学
  • 2个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
  • 2个文化科学
  • 1个水利工程
  • 1个交通运输工程
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生

主题

  • 6个纳米
  • 5个掩模
  • 5个真空
  • 5个温控
  • 4个电极
  • 4个电路
  • 4个掩模板
  • 4个微加工
  • 4个微加热器
  • 4个纳米加工技术
  • 3个电化学
  • 3个电化学检测
  • 3个电极尺寸
  • 3个叠合
  • 3个叠合结构
  • 3个信号
  • 2个单片
  • 2个单片机
  • 2个压印
  • 2个压印光刻

机构

  • 4个清华大学
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院研...
  • 1个大连理工大学
  • 1个湖南大学
  • 1个中北大学
  • 1个中国科学院电...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 5个国家重点基础...
  • 4个国家自然科学...
  • 1个北京市科委基...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个国家教育部“...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个北京市科委项...
  • 1个长江学者和创...
  • 1个科技部科学仪...
  • 1个中国科学院知...

传媒

  • 4个半导体技术
  • 3个光学精密工程
  • 3个中国机械工程
  • 3个微细加工技术
  • 3个半导体光电
  • 3个微纳电子技术
  • 3个第十三届全国...
  • 3个中国微米纳米...
  • 3个中国微米、纳...
  • 2个仪器仪表学报
  • 2个光电工程
  • 2个电子工业专用...
  • 2个激光与红外
  • 2个第十二届全国...
  • 1个世界电子元器...
  • 1个电讯技术
  • 1个传感器技术
  • 1个Journa...
  • 1个微计算机应用
  • 1个电子学报

地区

  • 6个北京市
  • 1个辽宁省
7 条 记 录,以下是 1-7
董晓文
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 压印
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽文
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹明
供职机构:清华大学
研究主题:浮栅 封装 焊球 微加工 射频微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦健
供职机构:清华大学
研究主题:生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
国石磊
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 传统加工方法 封装 纳米加工技术 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田昊
供职机构:大连理工大学
研究主题:微加热器 观赏性 可折叠 支撑体 展台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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