您的位置： 专家智库 > >

蒋文波

作品数：15 被引量：54H指数：5
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 19个机械工程
  • 18个电子电信
  • 18个自动化与计算...
  • 17个理学
  • 13个一般工业技术
  • 10个生物学
  • 10个文化科学
  • 9个电气工程
  • 8个经济管理
  • 6个金属学及工艺
  • 6个轻工技术与工...
  • 6个医药卫生
  • 5个核科学技术
  • 5个农业科学
  • 4个化学工程
  • 4个动力工程及工...
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个自然科学总论
  • 2个天文地球
  • 2个交通运输工程

主题

  • 17个掩模
  • 17个图像
  • 16个投影光刻
  • 15个衍射
  • 14个信号
  • 14个照明
  • 13个等离子体
  • 12个条纹
  • 11个电路
  • 11个电子束曝光
  • 11个调焦
  • 11个投影光刻机
  • 11个投影物镜
  • 10个电子束曝光机
  • 10个掩模板
  • 9个电机
  • 9个调平
  • 9个调制
  • 9个叠栅条纹
  • 9个数字微镜

机构

  • 18个中国科学院
  • 9个中国科学院研...
  • 2个电子科技大学
  • 1个国防科学技术...
  • 1个南京航空航天...
  • 1个南昌航空大学
  • 1个南昌航空工业...
  • 1个清华大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个教育部
  • 1个天津大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个西南科技大学
  • 1个许昌职业技术...
  • 1个中北大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个中国科学院微...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...

资助

  • 16个国家自然科学...
  • 14个国家高技术研...
  • 7个中国科学院知...
  • 6个国家重点基础...
  • 5个中国科学院知...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个成都市科技攻...
  • 4个国家教育部博...
  • 4个中国科学院西...
  • 4个中央高校基本...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个博士科研启动...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个四川省教育厅...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个“九五”国家...
  • 2个教育部“新世...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家科技支撑...

传媒

  • 15个微纳电子技术
  • 14个光学学报
  • 13个光电工程
  • 12个电子工业专用...
  • 12个微细加工技术
  • 8个中国激光
  • 8个光子学报
  • 8个四川大学学报...
  • 6个激光与光电子...
  • 6个第十一届全国...
  • 5个红外与激光工...
  • 5个第十二届全国...
  • 4个现代科学仪器
  • 4个半导体技术
  • 4个物理学报
  • 4个电子技术应用
  • 4个计算机应用
  • 4个光谱学与光谱...
  • 4个仪表技术与传...
  • 3个光电子．激光

地区

  • 13个四川省
  • 1个河南省
  • 1个江苏省
  • 1个江西省
  • 1个北京市
  • 1个西藏
  • 1个广东省
共 19 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨勇
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻 工件台 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张博
供职机构：中国矿业大学
研究主题：干法分选 干法 煤炭 分选 分选机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢嶶
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：刻蚀深度 纳米光刻 位相型 位相差 电子束加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0