2025年3月29日
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邢莎莎
作品数:
17
被引量:18
H指数:2
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
廖志杰
中国科学院光电技术研究所
林妩媚
中国科学院光电技术研究所
邢廷文
中国科学院光电技术研究所
刘旭
浙江大学光电信息工程学系现代光...
吴仍茂
浙江大学光电信息工程学系现代光...
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廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
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所获资助
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林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
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所获资助
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邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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刘旭
供职机构:浙江大学
研究主题:超分辨 显示装置 荧光 显微成像 图像
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吴仍茂
供职机构:浙江大学
研究主题:自由曲面 照明 均匀照明 偏折 激光光束
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李海峰
供职机构:浙江大学
研究主题:显示装置 图像 光场 投影机 自由曲面
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郑臻荣
供职机构:浙江大学
研究主题:自由曲面 照明 显示装置 投影机 全景
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杜猛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:仿真 光束整形 照明模式 反馈校正 入网
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张海波
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
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江海波
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:成像系统 离轴照明 复眼 非球面 光束整形
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