2025年3月20日
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王永伟
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院微电子学系
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
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王敬轩
复旦大学信息科学与工程学院微电...
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院微电...
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王敬轩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅基 抛光液 抛光速率 抛光工艺 化学机械抛光
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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