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王永伟

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:复旦大学信息科学与工程学院微电子学系更多>>
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地区

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王敬轩
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅基 抛光液 抛光速率 抛光工艺 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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