2025年1月24日
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刘克
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供职机构:
北京理工大学
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合作作者
李艳秋
北京理工大学光电学院光电成像技...
汪海
北京理工大学光电学院光电成像技...
刘丽辉
北京理工大学光电学院光电成像技...
王建峰
北京理工大学
刘晓林
北京理工大学光电学院光电成像技...
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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汪海
供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题:波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
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刘丽辉
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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王建峰
供职机构:北京理工大学
研究主题:微透镜阵列 准直系统 大口径 大动态范围 波像差
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刘晓林
供职机构:北京理工大学
研究主题:光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
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陈晨
供职机构:北京理工大学
研究主题:催化剂 单原子 机器人 网络化 传感器网络
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刘景峰
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:相位展开 波像差 极紫外光刻 波面拟合 干涉图
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何飞
供职机构:北京理工大学
研究主题:抗噪能力 曲率 波前重构 高阶 积分方程
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戴学兵
供职机构:北京理工大学
研究主题:偏振 成像系统 检测元件 像差 拓扑
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董立松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
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