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李伟

作品数：3 被引量：10H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个机械工程
  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个电气工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个建筑科学
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主题

  • 4个电极
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机构

  • 5个中国科学院
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资助

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传媒

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地区

  • 4个上海市
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共 5 条 记 录，以下是 1-5
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏荣涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 焊盘 寄生电容 寄生 微加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈琳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 干法刻蚀 静电力 位错 塑性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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