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魏恒
作品数:
3
被引量:6
H指数:1
供职机构:
河北工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙业林
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘效岩
河北工业大学信息工程学院微电子...
陈婷
河北工业大学信息工程学院微电子...
谢竹石
河北工业大学
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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陈婷
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:表面粗糙度 化学机械抛光 粗糙度 蓝宝石衬底 蓝宝石
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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孙业林
供职机构:河北工业大学
研究主题:粗糙度 去除速率 化学机械抛光 表面粗糙度 蓝宝石衬底
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谢竹石
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:鉴频鉴相器 锁相环 低噪声 粗糙度 氧化剂
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梁蒲
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 CMP SIO 抛光液
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