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宋莎莎
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1
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供职机构:
中国科学院等离子体物理研究所
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相关领域:
理学
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合作作者
魏钰
中国科学院等离子体物理研究所
左潇
中国科学院等离子体物理研究所
舒兴胜
中国科学院等离子体物理研究所
陈龙威
中国科学院等离子体物理研究所
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左潇
供职机构:中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题:高功率脉冲 涂层 磁控溅射技术 磁控溅射法 磁控
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相关人物
供职机构
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魏钰
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:多晶硅薄膜 化学气相沉积 增强型 微观结构 氢气
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相关人物
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舒兴胜
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:MWPCVD 金刚石膜 表面改性 工作气体 微波等离子体化学气相沉积
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相关人物
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陈龙威
供职机构:中国科学院等离子体物理研究所
研究主题:等离子体 等离子体射流 半导体薄膜 氢等离子体 多晶硅薄膜
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相关人物
供职机构
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