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林霖

作品数：1 被引量：19H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个文化科学

主题

  • 4个电路
  • 4个化学机械抛光
  • 4个机械抛光
  • 4个集成电路
  • 4个硅片
  • 4个300MM硅...
  • 4个超大规模集成
  • 4个超大规模集成...
  • 4个大规模集成电...
  • 3个表面形貌
  • 2个单晶
  • 2个抛光
  • 2个硅单晶
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  • 1个氧化层
  • 1个氧浓度
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机构

  • 4个北京有色金属...
  • 1个有色金属研究...

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  • 4个国家高技术研...
  • 3个国家科技重大...

传媒

  • 4个半导体技术
  • 3个稀有金属
  • 2个中国有色金属...
  • 2个中国有色金属...
  • 1个中国稀土学报
  • 1个电子工业专用...
  • 1个微电子学
  • 1个2014`全...

地区

  • 4个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
鲁进军
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王继
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李耀东
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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