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秦然
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3
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河北工业大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
张燕
河北工业大学信息工程学院微电子...
周建伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
何彦刚
河北工业大学信息工程学院微电子...
闫辰奇
河北工业大学电子信息工程学院
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
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周建伟
供职机构:河北工业大学
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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张燕
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 螯合剂 CU A/O F
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何彦刚
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 阻挡层 化学机械抛光 抛光表面 水溶液聚合
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闫辰奇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
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