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杜娟
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
何自强
北京有色金属研究总院
李宗峰
北京有色金属研究总院
刘斌
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
冯泉林
北京有色金属研究总院
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刘斌
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氧沉淀 微缺陷 多晶硅 硅片 CZ硅单晶
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供职机构
所获资助
研究领域
冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品
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供职机构
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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李宗峰
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:氩 高温退火 高温 退火 CZ硅单晶
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
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