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胡泽先
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中国电子科技集团第十三研究所
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合作作者
张力江
中国电子科技集团第十三研究所
谭永亮
中国电子科技集团第十三研究所
崔玉兴
中国电子科技集团第十三研究所
付兴中
中国电子科技集团第十三研究所
宋洁晶
中国电子科技集团第十三研究所
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张力江
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:衬底 谐振器 电极 腔体 GAN_HEMT器件
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所获资助
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崔玉兴
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:谐振器 衬底 半导体 腔体 压电层
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谭永亮
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:欧姆接触电极 GAN_HEMT器件 欧姆接触 高温退火 介质层
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付兴中
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:硅基 键合 晶圆 芯子 芯片
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宋洁晶
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:晶圆 键合 刻蚀 电极 衬底
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李保第
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:衬底 SPC 功率芯片 功率晶体管 刻蚀
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卜爱民
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:衬底 谐振器 氧化镓 腔体 压电层
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冯志红
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:肖特基二极管 氧化镓 场效应晶体管 金刚石 衬底
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高渊
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:衬底 腔体 谐振器 压电层 滤波器
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吕元杰
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:氧化镓 电极 场效应晶体管 肖特基二极管 沟道
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