2025年2月15日
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孟莹
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5
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H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
刘卫兵
中国科学院微电子研究所
孙西龙
中国科学院微电子研究所
明安杰
中国科学院微电子研究所
毛海央
中国科学院微电子研究所
谭秋林
中北大学电子与计算机科学技术学...
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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毛海央
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:热电堆 纳米 MEMS 红外光源 衬底
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孙西龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外光源 MEMS 金属电极 隔离层 图形化
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熊继军
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 MEMS 压力传感器 传感器 高温压力传感器
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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谭秋林
供职机构:中北大学
研究主题:无线无源 传感器 气体传感器 声表面波 无源
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王英辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
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刘卫兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外光源 MEMS 图形化 金属电极 刻蚀
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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 衬底 ALGAN/GAN
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王鑫华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 势垒层 刻蚀 GAN 增强型
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