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陈孟悦

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
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合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个理学
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  • 1个金属学及工艺
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主题

  • 3个等离子体增强
  • 3个等离子体增强...
  • 3个微结构
  • 3个化学气相
  • 3个化学气相沉积
  • 3个激发频率
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地区

  • 3个上海市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
邱海宁
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院
研究主题：激发频率 晶化率 等离子体化学气相沉积 PECVD法制备 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任超
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院
研究主题：薄膜微结构 激发频率 等离子体增强化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何佳
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院
研究主题：激发频率 晶化率 等离子体化学气相沉积 氧化铝 高校工会
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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