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邹微波

作品数：3 被引量：24H指数：3
供职机构：广东工业大学机电工程学院更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>

合作作者

领域

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主题

  • 4个抛光
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机构

  • 4个广东工业大学
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资助

  • 4个广东省自然科...
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传媒

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地区

  • 4个广东省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
杨向东
供职机构：广东工业大学
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏昕
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：激光 激光技术 化学机械抛光 微热管 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢小柱
供职机构：广东工业大学
研究主题：激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方照蕊
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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