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邹微波

作品数:3 被引量:22H指数:3
供职机构:广东工业大学机电工程学院更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺机械工程更多>>

领域

  • 4个金属学及工艺
  • 3个机械工程
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主题

  • 4个抛光
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  • 4个化学机械抛光
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  • 4个CMP
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机构

  • 4个广东工业大学
  • 1个湖南大学
  • 1个华南理工大学

资助

  • 4个广东省自然科...
  • 4个国家自然科学...
  • 4个国家教育部博...
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  • 2个广东省教育厅...
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传媒

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地区

  • 4个广东省
4 条 记 录,以下是 1-4
杨向东
供职机构:广东工业大学
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏昕
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:激光 激光技术 微热管 化学机械抛光 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢小柱
供职机构:广东工业大学
研究主题:激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方照蕊
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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