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刘满林
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
杨旺
中国科学院长春光学精密机械与物...
许伟才
中国科学院长春光学精密机械与物...
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杨旺
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学设计 公差分析 倍率 投影光刻物镜 干涉仪
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供职机构
所获资助
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许伟才
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学设计 成像质量 光学系统 大视场 探测器阵列
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