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刘洪超
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中国科学院上海高等研究院
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合作作者
王聪
中国科学院上海高等研究院
张伟
中国科学院上海高等研究院
刘东方
中国科学院上海高等研究院
陈小源
中国科学院上海高等研究院
杨辉
中国科学院上海高等研究院
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张伟
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:籽晶 衬底 波荡器 硅 选择性刻蚀
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王聪
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:籽晶 石墨烯 衬底 硅 选择性刻蚀
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刘东方
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:籽晶 衬底 硅 选择性刻蚀 湿法刻蚀
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杨辉
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:直接甲醇燃料电池 甲醇 电催化 催化剂 膜电极
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陈小源
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:石墨烯 衬底 基底表面 籽晶 热电材料
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鲁林峰
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:磁控溅射 FESI 多晶硅 籽晶 AZO薄膜
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