2025年3月27日
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梁蒲
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3
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供职机构:
河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
张研
河北工业大学信息工程学院微电子...
陈婷
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
肖文明
河北工业大学
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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陈婷
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:表面粗糙度 化学机械抛光 粗糙度 蓝宝石衬底 蓝宝石
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张研
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP SIO 混合磨料 微晶玻璃
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阎宝华
供职机构:河北工业大学
研究主题:MG-AL合金 化学机械抛光 镁铝合金
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魏恒
供职机构:河北工业大学
研究主题:粗糙度 去除速率 表面粗糙度 化学机械抛光 蓝宝石衬底
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肖文明
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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