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郑伟艳

作品数:8 被引量:36H指数:4
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 23个电子电信
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  • 11个理学
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主题

  • 18个CMP
  • 17个抛光液
  • 16个碱性抛光液
  • 15个化学机械抛光
  • 15个机械抛光
  • 14个去除速率
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  • 13个铜布线
  • 12个平坦化
  • 12个化学机械平坦...
  • 11个抛光
  • 11个
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  • 9个电阻
  • 9个信号
  • 9个阻挡层
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机构

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  • 1个河北工学院
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  • 1个机械科学研究...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个中国人民解放...

资助

  • 18个国家科技重大...
  • 15个国家中长期科...
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传媒

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地区

  • 21个天津市
  • 1个新疆
  • 1个河北省
24 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹康达
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性抛光液 CMP 化学机械平坦化 选择性 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
岳红维
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所
研究主题:化学机械平坦化 CMP 铜布线 铜 测试仪器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏文浩
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:碱性 抛光液 选择性 阻挡层 碟形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
齐景爱
供职机构:河北工业大学
研究主题:大学生 静电 教育 中国优秀传统文化 荣辱观
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹冠龙
供职机构:河北工业大学
研究主题:丙酮 气敏传感器 气敏元件 退火温度 气敏
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
串利伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:化学机械平坦化 铜布线 CMP 碱性 速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高金雍
供职机构:河北工业大学
研究主题:丙酮 气敏传感器 TIO2薄膜 静电 微小型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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