2025年2月14日
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李力军
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
北京自动测试技术研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王鑫
北京自动测试技术研究所
李瑞麟
北京自动测试技术研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
李超波
中国科学院微电子研究所
李勇滔
中国科学院微电子研究所
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王鑫
供职机构:北京自动测试技术研究所
研究主题:压控振荡器 分布控制系统 非接触式 反相器 功率调节
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供职机构
所获资助
研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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供职机构
所获资助
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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供职机构
所获资助
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李瑞麟
供职机构:北京自动测试技术研究所
研究主题:测试设备 测试向量 并行测试技术 并行测试 编程开发
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马新国
供职机构:北京自动测试技术研究所
研究主题:HFE 晶体管 硬件
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供职机构
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李勇滔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
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赵章琰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
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