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张益源
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
清华大学
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发文基金:
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合作作者
尤政
清华大学
赵嘉昊
清华大学
王建中
清华大学
董恺琛
清华大学
张紫辰
清华大学
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赵嘉昊
供职机构:清华大学
研究主题:共面波导 电极 微系统 RF_MEMS开关 静电驱动
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尤政
供职机构:清华大学
研究主题:超级电容器 星敏感器 MEMS 微机电系统 太阳敏感器
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董恺琛
供职机构:清华大学
研究主题:二氧化钒 机械稳定性 机械开关 相变过程 微机械开关
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张紫辰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶圆 激光加工 激光光束 光斑 二次谐波
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王建中
供职机构:清华大学
研究主题:MICRO MEMS MECHANICAL ELECTRO SYSTEMS
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