2025年1月22日
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张淑媛
作品数:
3
被引量:19
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
王晓东
中国科学院大学微电子学院
杨富华
中国科学院大学微电子学院
刘雯
中国科学院半导体研究所
马静
中国科学院半导体研究所
韩国威
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀
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刘雯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:陷光结构 量子点 太阳电池 光吸收 太阳能电池
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
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马静
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光吸收 减反射膜 阳极氧化铝 感应耦合等离子体 复合结构
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刘雨生
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:薄膜太阳电池 陷光结构 GAAS
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宁瑾
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
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司朝伟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
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