-
左青云
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 李铭
- 作品数:168被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 康晓旭
- 作品数:419被引量:2H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
- 曾绍海
- 作品数:89被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:淀积 刻蚀 衬底 侧墙 超大规模集成电路
- 袁超
- 作品数:48被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:牺牲层 空气隙 MEMS麦克风 振动膜 介质层
- 黄仁东
- 作品数:40被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光