-
袁超
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:自动化与计算机技术
相关作者
- 康晓旭
- 作品数：419被引量：2H指数：1
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
- 左青云
- 作品数：77被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：衬底 淀积 空气隙 刻蚀 介质层
- 李佳青
- 作品数：37被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
- 周炜捷
- 作品数：25被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
- 王伟军
- 作品数：34被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
