-
王伟军
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 林宏
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:48被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:空气隙 填充金属 铜互连 硅片 电镀铜
- 李铭
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:168被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 康晓旭
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:419被引量:2H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
- 姚嫦娲
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:34被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
- 黄仁东
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:40被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光