-
林宏
-
-
- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 王伟军
- 作品数：34被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
- 左青云
- 作品数：79被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
- 李铭
- 作品数：169被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 姚嫦娲
- 作品数：34被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
- 黄仁东
- 作品数：40被引量：0H指数：0
- 供职机构：上海集成电路研发中心
- 研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
