-
何伟
-

-

- 所属机构:同济大学
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家攀登计划
相关作者
- 沈蓓军

- 作品数:15被引量:14H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
- 路敦武

- 作品数:48被引量:122H指数:5
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
- 王德林

- 作品数:7被引量:22H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:V棱镜折射仪 光电倍增管 角度编码器 折射率测量 高功率激光系统
- 杨良民

- 作品数:9被引量:10H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
- 黄惠杰

- 作品数:491被引量:654H指数:16
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法