董立立
作品数: 23被引量:143H指数:6
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

黄道
作品数:256被引量:951H指数:16
供职机构:云南民族大学
研究主题:故障诊断 神经网络 化工过程 专家系统 CIMS
朱煜
作品数:555被引量:787H指数:15
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
张鸣
作品数:390被引量:264H指数:9
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
段广洪
作品数:367被引量:1,777H指数:23
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
尹文生
作品数:320被引量:654H指数:12
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机