黑龙江省青年科学基金(QC05C12)
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 相关作者：刘红梅张辉军孟丽娜邱成军赵全亮更多>>
- 相关机构：黑龙江大学北京理工大学更多>>
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- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究被引量：2
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀。在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求。
- 邱成军刘红梅张辉军赵全亮孟丽娜曹茂盛
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法各向异性刻蚀微驱动器MEMS
