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黑龙江省青年科学基金(QC05C12)
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刘红梅
张辉军
孟丽娜
邱成军
赵全亮
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刘红梅
供职机构:北京理工大学
研究主题:MEMS 溶胶-凝胶法 PZT薄膜 PZT 微驱动器
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赵全亮
供职机构:北方工业大学
研究主题:锆钛酸铅 光干涉 机器人 电极 厚膜
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邱成军
供职机构:黑龙江大学电子工程学院
研究主题:MEMS PZT 悬臂梁 气体传感器 溶胶-凝胶法
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张辉军
供职机构:黑龙江大学
研究主题:射频磁控溅射 氧传感器 MEMS 金红石相 PN结
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孟丽娜
供职机构:黑龙江大学
研究主题:微驱动器 PZT薄膜 MEMS 溶胶-凝胶法 分子束外延
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