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国家自然科学基金(60706028)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：闫桂珍杨振川吕佳楠陈敬更多>>
相关机构：北京大学香港科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇英文
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀技术
  • 1篇干法刻蚀
  • 1篇干法刻蚀技术
  • 1篇GAN
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇香港科技大学

作者

  • 1篇陈敬
  • 1篇吕佳楠
  • 1篇杨振川
  • 1篇闫桂珍

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺(英文)被引量：1
2011年
氮化镓(GaN)材料已成功应用于光电子器件、高频功率器件等领域.近年来,由于GaN优异的材料特性,例如机械、热、化学稳定性以及生物兼容性等,使基于GaN的微机电系统(MEMS)得到了学术界的广泛关注.针对氮化镓MEMS结构的有效的图形化及释放技术是工艺研究的重点.设计、采用了一种全干法刻蚀技术,实现了(111)晶向硅衬底上的氮化镓基MEMS微结构的加工制造.利用提出的工艺方案,实现了多种悬浮GaN微结构的加工与测试表征实验.通过电子扫描显微镜(SEM)和光学轮廓仪进行了基本形貌表征;利用微拉曼光谱实验进行了加工结构的残余应力表征.
杨振川吕佳楠闫桂珍陈敬
关键词：干法刻蚀MEMS
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共1页<1>
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