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国家自然科学基金(60706028)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：闫桂珍杨振川吕佳楠陈敬更多>>
相关机构：北京大学香港科技大学更多>>
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领域

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主题

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机构

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传媒

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
吕佳楠
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：氮化镓 干法刻蚀 氮化镓材料 表面等离子体激元 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈敬
供职机构：香港科技大学
研究主题：功率电子器件 功率电子 界面态 物理研究 栅介质
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫桂珍
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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