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国家自然科学基金(10477013)

作品数：6 被引量：17H指数：2
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上海交通大学
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上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微陀螺 碳纳米管 微电子机械系统
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 MEMS技术 微陀螺
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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 力学性能 微电感 微陀螺
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